性能指標和基本配置

名稱

小型4通道管式爐

爐體結構

● 爐體由4個小管式爐組成，采用氧化鋁爐管，尺寸為25 OD x 22 ID x 460 Lmm
● 每個加熱模塊都由獨立的溫控系統控制，最高溫度可達1700℃
● 快速密封法蘭，安裝有機械真空壓力表，進氣端安裝有浮子流量計，樣品可在真空或氣氛保護環境下進行熱處理
● 可同時放入4個樣品，在不同溫度下進行熱處理 

加熱元件

硅鉬棒

工作溫度&恒溫區

● 連續工作溫度1600℃
● 最高工作溫度 1700℃(< 1 hrs)
● 恒溫區: 30mm(±1℃)，60mm(±5℃)

爐管

● 高純氧化鋁爐管：Φ25X L 460 mm，4根
● 4個浮子流量計
● 快速連接法蘭，KF25真空接口
● 真空度：10-5 torr（采用分子泵）
● 有一真空泵接口（KF25）,可在本公司購買各種真空泵

溫度控制

● 采用觸摸屏設置溫度程序，帶有超溫和斷偶保護
● 4個溫區分別由4個獨立的溫控系統控制
● 4根B型熱電偶

最高加熱速率

10℃/ min

控溫精度

±1℃

淬火（可選）

此管式爐可升級為立式淬火爐（加上旋轉機構和淬火劑罐）

功率，工作電壓

6 KW, 208 - 240V單相, 50/60Hz

產品尺寸

1000 L x 650 W x 640 H mm

質保

一年質保期，終生維護（不包含爐管，密封圈和加熱元件）

警告 & 應用注意

● 此管式爐，只可在真空或常壓狀態使用，爐管內的相對氣壓不可大于0.02MPa
● 進氣流量<200 SCCM ( 200ml/min)
● 向爐管內通氣的氣瓶上必須安裝雙級減壓閥（可在本公司購買）
● 可選購本公司的供氣系統，可用于進行CVD實驗