性能指標和基本配置

名稱

1200℃迷你三溫區管式爐

爐體結構

● 采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統，使表面溫度低于70℃
● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）
● 可選購石英管堵及石英坩堝，可增加爐管內潔凈度及真空度
● 設有開門斷電功能,提高實驗安全性

基本參數

● 熱偶：K型熱偶 
● 建議升溫速率：≤10℃/min
● 溫度：1100℃ （1200℃＜1h）
● 電源：AC220，50Hz
● 最大功率:5KW

高純石英管尺寸

● 以下高純石英管尺寸可選：
Φ25 Φ50 Φ60 Φ80 Φ100 Φ130

加熱區

加熱區長度：600mm (三溫區：150mm+300mm+150mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

密封法蘭

● 一對SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環包括在內
● 兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上
● 一個真空壓力表安裝在一側法蘭
● 可選：您可以選購kf25真空口法蘭
● 可選：您可以訂購法蘭支架
● 可選：鉸鏈法蘭

溫控系統

● 包含一款YD518P型溫度控制器
● PID自動控溫系統
● 智能化30段可編程控制
● 控溫精度：±1℃
● 三個溫區分別有三個獨立的溫控系統控制
● 默認DB9 PC通信連接端口
● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據

溫度校準（可選）

● 定期對管式爐進行溫度校準，可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括
● 48”L（1/4”OD）K型熱電偶校準
● 一Omega溫度校準器
● 熱電偶補償線
● 你可以考慮分子泵，真空度可達10-5Torr

外形尺寸

1050 L x 440W x 700 H mm

凈重

約70Kg

質保期

● 一年保修，終身技術支持。
● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

真空&法蘭

● 通過機械泵可達到50mTorr
● 通過分子泵泵可達到10E-5 Torr
● 可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染

可選部分

● 為了方便搭建完整的CVD系統，您可以在我公司選購混氣系統、液相氣體發生氣和石英支架         

使用注意事項

● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
● 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
● 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

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